一般的にクリーンルーム空調では温湿度調整をするために必要な冷温水をボイラーとチラーを組み合わせて利用するが、この冷温水製造をヒートポンプにて行うことで効率的なエネルギー利用を実現。 半導体業界 クリーンルーム空調
