純水加熱工程へのヒートポンプ導入でエネルギー利用の効率化を実現 純水加熱工程へのヒートポンプ導入でエネルギー利用の効率化を実現 の続きを見る 温排水からの熱を回収することでヒートポンプを活用。排熱回収により生成した温水は半導体の洗浄に利用する純水(半導体基板洗浄水)の加熱に利用し、加熱源をボイラーからヒートポンプに変えることでエネルギーの効率化を実現。